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| 品牌 | 其他品牌 | 連接形式 | 螺紋 |
|---|---|---|---|
| 材質 | 球墨鑄鐵 | 公稱通徑 | 200mm |
EMG SV1-10/8/120/6 德國糾編伺服閥 現貨
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另外，近年來伺服閥新型的驅動方式除了力矩馬達直接驅動外，還出現了采用步進電機、伺服電機、新型電磁鐵等驅動結構以及光-液直接轉換結構的伺服閥。這些新技術的應用不僅提高了伺服閥的性能，而且為伺服閥發展開拓了思路，為電液伺服閥技術注入了新的活力。當前在電液伺服閥研制領域的新型材料運用，主要是以壓電元件、超磁致伸縮材料及形狀記憶合金等為基礎的轉換器研制開發。它們各具有其自己的優良特性。
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壓電元件的特點是“壓電效應"：在一定的電場作用下會產生外形尺寸的變化，在一定范圍內，形變與電場強度成正比。壓電元件的主要材料為壓電陶瓷（PZT）、電致伸縮材料（PMN）等。比較典型的壓電陶瓷材料有日本TOKIN公司的疊堆型壓電伸縮陶瓷等。PZT直動式伺服閥的原理是：在閥芯兩端通過鋼球分別與兩塊多層壓電元件相連。通過壓電效應使壓電材料產生伸縮驅動閥芯移動。實現電-機械轉換。PMN噴嘴擋板式伺服閥則在噴嘴處設置一與壓電疊堆固定連接的擋板，由壓電疊堆的伸、縮實現擋板與噴嘴間的間隙增減，使閥芯兩端產生壓差推動閥芯移動。壓電式電-機械轉換器的研制比較成熟并已得到較廣泛的應用。它具有頻率響應快的特點，伺服閥頻寬甚至能達到上千赫茲，但亦有滯環大、易漂移等缺點，制約了壓電元件在電液伺服閥上的進一步應用。
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在20世紀90年代，國外研制直動型電液伺服閥獲得了較大的成就。國內有些單位如中國運載火箭技術研究院第十八研究所、北京機床研究所、浙江工業大學等單位也研制出了相關產品的樣機。特別是北京航空航天大學研制出轉閥式直動型電液伺服閥。該伺服閥通過將普通伺服閥的滑閥滑動結構轉變為滑閥的轉動，并在閥芯與閥套上相應開了幾個與軸向有一定傾角的斜槽。閥芯閥套相互轉動時，斜槽相互開通或相互封閉，從而控制輸出壓力或流量。由于在工作時閥芯閥套是相互轉動的，降低了閥工作時的摩擦阻力，同時污染物不容易在轉動的滑閥內堆積，提高了抗污染性能。此外，Park公司開發了“音圈驅動(Voice Coil Drive)"技術（VCD），以及以此技術為基礎開發的DFplus控制閥。所謂音圈驅動技術，顧名思義，即是類似于揚聲器的一種驅動裝置，其基本結構就是套在固定的圓柱形磁鐵上的移動線圈，當信號電流輸入線圈時，在電磁效應的作用下，線圈中產生與信號電流相對應的軸向作用力，并驅動與線圈直接相連的閥芯運動，驅動力很大。
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線圈上內置了位移反饋傳感器，因此，采用VCD驅動的DFplus閥本質上是以閉環方式進行控制的，線性度相當好。此外，由于 VCD驅動器的運動零件只是移動線圈，慣量極小，相對運動的零件之間也沒有任何支承，DFplus閥的全部支承就是閥芯和閥體間的配合面，大大減小了摩擦這一非線性因素對控制品質的影響。綜合上述的技術特點，配合內置的數字控制模塊，使DFplus閥的控制性能佳，尤其在頻率響應方面更是*，可達 400Hz。從發展趨勢來看，新型直動型電液伺服閥在某些行業有替代傳統伺服閥特別是噴嘴擋板式伺服閥的趨向，但它的最大問題在于體積大、重量重，只適用于對場地要求較低的工業伺服控制場合。如能減輕其重量、減小其體積，在航空、航天等行業亦具有極大的發展潛力。
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KLM300/012位移傳感器EMG
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在二戰末期，伺服閥是用螺線管直接驅動閥芯運動的單級開環控制閥。然隨著控制理論的成熟及軍事應用的需要，伺服閥的研制和發展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩級閥；Raytheon和Bell航空發明了帶反饋的兩級閥；MIT用力矩馬達替代了螺線管使馬達消耗的功率更小而線性度更好。1950年，W.C.Moog第一個發明了單噴嘴兩級伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發明了機械反饋式兩級伺服閥；W.C.Moog發明了雙噴嘴兩級伺服閥；Wolpin發明了干式力矩馬達，消除了原來浸在油液內的力矩馬達由油液污染帶來的可靠性問題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級射流管伺服閥。并于1959年研制了三級電反饋伺服閥。
1959年2月國外某液壓與氣動雜志對當時的伺服閥情況作了12頁的報道，顯示了當時伺服閥蓬勃發展的狀況。那時生產各種類型的伺服閥的制造商有 20多家。各生產廠家為了爭奪伺服閥生產的霸權地位展開了激烈地競爭?；仡櫄v史，可以看到最終取勝的幾個廠家，大多數生產具有反饋及力矩馬達的兩級伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現代伺服閥的許多特點。如：第二級對第一級反饋形成閉環控制；采用干式力矩馬達；前置級對功率級的壓力恢復通常可達到50%；第一級的機械對稱結構減小了溫度、壓力變化對零位的影響。同時，由早期的直動型開環控制閥發展變化而來的直動型兩級閉環控制伺服閥也已出現。當時的伺服閥主要用于軍事領域，隨著太空時代的到來，伺服閥又被廣泛用于航天領域，并研制出高可靠性的多余度伺服閥
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